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電阻真空計即采用電阻術(shù)的真空計，般校準零點，再行滿度校準。

　　原理

　　Pirani皮拉尼真空計構(gòu)如圖所示。金屬圓筒內(nèi)設(shè)有白金細線,兩端連接電。通過電給白金細線提供電流時,白金細線會發(fā)熱,氣體分子碰撞白金細線或熱輻射或通過固體熱傳導(dǎo)等方式,白金線的熱量會被奪走。單位時間內(nèi)以上三種方式奪走的熱量為Qg,Qr,Qs,則平衡狀態(tài)下時以下公式成立

　　Q = I2R = Qg Qr Qs (1)

　　Q是單位時間細線放出的熱量,R是細線的電阻,I是細線的電流。

　　氣體的平均自由行程比細線的直徑大很多時,Qg通過自由分子的熱傳導(dǎo)被表示為

　　Qg = αΛπda(T-T0)p (2)

　　如圖所示,T和T0分別為細線和金屬圓筒的溫度,P為氣體壓力,a是細線長度。 剩下的Qs和Qr可以分別表示如下

　　Qs = Sκ(T-T0)/L (3)

　　Qr = πdaσε(T4-T04) (4)

　　(3)是電的熱傳導(dǎo),其中S是細線的斷面積,κ是固體的傳導(dǎo)率,L是電的長度。

　　(4)式代表熱輻射,σ和ε分別被稱為常數(shù)和固體輻射率。如果保持T和T0定,則(3)和(4)式為常數(shù)。如果用I02R表示定量的固體熱傳導(dǎo)和熱輻射,則式1可以表示為

　　I2R = Ap I02R (5)

　　A = αΛπda(T-T0) (6)

　　I0是壓力為0的時候細線的電流, 是彌補固體熱傳導(dǎo)和熱輻射而帶來的熱量損失。A式是不依存壓力的定數(shù)如果已知細線的電阻R,電流I0及定數(shù)A,則可以通過(5)式求得壓力P。

　　電阻真空計的

　　校準

　　般校準零點，再行滿度校準。

　　(1)校準零點。校準零點需對被測真空系統(tǒng)抽真空，旦電離規(guī)測得真空度于1.0^-1Pa(如9.9 X10^-2Pa)，按"校零"按鈕，對應(yīng)示燈亮或快速閃爍，真空計自動校正零點，當顯示1.0^-1Pa時，表示規(guī)管零點已校準。對于無自動零點校準的電阻真空計，可通過操作面板上的電位器旋鈕手動調(diào)整。

　　(2)滿度校正。校準零點后，需對其滿度校正。按滿度校正過程要求，對被測爐腔放人大氣，確保被校電阻規(guī)所測位置為大氣狀態(tài)，在大氣壓下作約10分鐘。按"滿度"按鈕，對應(yīng)示燈亮或快速閃爍，真空計自動校正滿度，當顯示1.0^5 Pa時，表示規(guī)管滿度已校準。對于無自動滿度校準的電阻真空計，可通過操作面板上的電位器旋鈕手動調(diào)整。