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勻膠機ZRX-30013是在速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設備，膜的厚度取決于勻膠機的轉速和溶膠的黏度。

選購巧

從其原理來說，可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細節(jié)

旋轉速度

轉速的快慢和控制度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速誤差很大，對于要求 涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據的。產的某些勻膠機只能提供轉速范圍，并不能標定實時的轉速。口的勻膠機雖然大分能標定轉速，但是大分轉速度沒有際標準認定。

真空吸附系統(tǒng)的構

真空泵定要無油的，壓力標定準確，內 的無油真空泵實在不敢恭維。因為何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產生"飛片"的情況，還會讓滴膠液不慎入真空管道系統(tǒng)成堵塞。用過產勻膠機的客戶常常會關心怎么清洗的問題，這點許多外的勻膠機做得不錯，他們有通過聯(lián)動機制，如果真空吸附力不夠的時候，不會開始旋轉。

材質的選擇

對于半導體化行業(yè)的應用來說，材質的選擇尤為關鍵，大分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質，因為這種材質的成本很低，不銹鋼的對于各類化膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較溫度和壓力下易產生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導致旋涂時，時時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。例如美等型號都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(氟隆，PTFE)材質。這兩種材質具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點。

從其原理來說，勻膠機有以下兩個點。

(1)旋轉速度

轉速的快慢和控制度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速誤差很大，對于要求 涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據的。目前轉速控制方面有際認定標準，如美NIST標準等。

(2)真空吸附系統(tǒng)

真空泵般采用無油泵，即通常說的干泵，因為何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產生"飛片"的情況，還會讓滴的膠液不慎入真空管道系統(tǒng)成堵塞。有的勻膠機通過聯(lián)動機制，當真空吸附力不夠時不會開始旋轉。這樣可有效避免滴的膠液不慎入真空管道系統(tǒng)。